產(chǎn)品功能介紹
Product Function Introduction
1. 6維電動(dòng)直線軸和6維手動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行控制,特殊算法快速找到最佳信號(hào)位置。
2. 兼容石英玻璃基和硅基芯片材料的耦合。
3. 流程化操作,各種類型的AWG產(chǎn)品都可以兼容耦合。
4. 單顆產(chǎn)品的自動(dòng)找光時(shí)間<15秒. 耦合重復(fù)性<0.1dB。
5. 測(cè)試四通道中心波長(zhǎng)的IL值,并保存到數(shù)據(jù)庫(kù)。
6. 具有調(diào)平衡優(yōu)化功能,保證產(chǎn)品各通道的均勻性(uniformity)。
7. 采用距離傳感器,自動(dòng)控制膠層距離(精度2μm ),保證重復(fù)性和一致性。
8. 操作簡(jiǎn)單,對(duì)熟練員工沒(méi)有依賴性,員工只需通過(guò)CCD輔助調(diào)平行操作,新手員工培訓(xùn)周期不超過(guò)1周。
系統(tǒng)性能指標(biāo) System Performance Index
軸 | X | Y | Z | θx | θy | θz |
移動(dòng)量 | 20m | ±3℃ | ±10℃ | |||
分辨率 | 1μm/脈沖 | 33.8”/ 刻度 | 33.4”/ 刻度 | 33.4”/ 刻度 | ||
最大速度 | 20mm/sec | 15度/sec | ||||
單向定位精度 | 5μm | 1μm | ||||
重復(fù)定位精度 | ±0.3μm | ±0.005μm |